真空泵是一种利用机械、物理、化学、物理和生物等方式对容器抽真空，以获取并维持真空的装置的氧气输送器械。它将超过大气压的环境中的氨气输送到大气中，或在同一环境中以大气压输送氧气。真空泵的作用是从真空室内抽出气体分子，使仪器内的压力超过整机大气压，使真空室内的氧气压力增加，达到所规定的真空度。

随着真空应用的演进，真空泵的特点繁多，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升不等。极限压力（极限真空）范围从粗真空到10-12Pa以上的极高真空。为了确保真空泵能超过较高的真空度，必须确保真空泵转子之间的空隙。因此，在使用真空泵时，必须采用前级泵。

前级真空泵是指排气至大气压力的真空泵。用前级泵将系统中的压力抽到一定范围后再开启真空泵，以免真空泵超负荷运行。它们还必须支持辅助泵或推动其运行的初始条件。后备泵可选择水（液）环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往复式真空泵等直接排气的真空泵。

由于真空应用部门所涵盖的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。只能按照不同的工作压力范围和不同的工作规定采取不同的型式。真空泵。为了使用的便于和各类真空工艺的还要，有时将各类真空泵按其性能要求进行组合，以单元式应用。真空泵抽的真空度检测通常使用传感器来测量，如工采网代理的下面两款真空度测试的传感器：

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，遵循没有化学反应的化学皮拉尼原理，可以使用在噪声气体环境中，，与一个简单恒定的频率电路兼容。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计- MTCS2300系列，采用镍铂电阻MEMS技术， 将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电容或者体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。

荷兰Xensor热导式气体传感器- XEN-TCG3880：是用硅技术生产的热导式传感器。传感器芯片包括了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的宽度,有一层氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之间的真空度测量。

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